分子・プラズマ物理化学研究室

研究内容

「プラズマCVDの物理化学とそれにもとづいた材料開発」に関する教育・研究を行っています。窒素炭素、炭化ケイ素などのアモルファス炭素系材料について、以下の研究を進めています。

(1) 高波長分解能レーザーおよび発光分光法を用いた薄膜形成過程の反応解析

(2) プラズマ誘起化学反応を用いた薄膜材料を合成と化学構造および物性の解析

プラズマCVDを用いたアモルファス窒化炭素薄膜の合成